二手 ASYST LPO 2200 #293626894 待售

ASYST LPO 2200是一款先进的晶圆处理器，设计用于大容量半导体生产过程。它是一个单端晶圆处理系统,能够处理直径不超过200 mm的晶圆,最大晶圆容量不超过200 mm X 200 mm。LPO 2200配备了8个双碗机器人，最多4个夹紧阶段，最多6个索引器，最多6个负载锁。该系统具有随生产过程扩展的灵活性,能够随时升级到更大的晶圆容量和数量的机器人。ASYST LPO 2200提供高精度晶圆处理,最高晶圆速度为每小时100个晶圆,以及性能和可重复性,平均故障时间为每小时50万个周期。它还提供了一系列的能力，最多4个可能的机器人滚筒，6个机器人喷嘴位置，4个夹紧级，6个索引器位置。此外，LPO 2200还可以定制以满足您的特定需求，并配备空气控制、安全联锁等选项升级。ASYST LPO 2200专为高效、安全的晶片处理而设计,包括零缺陷定心、WaferSafe传感器、双碗加载和卸载等功能,以及可重复性的可编程配方。其用户友好型设计采用触摸屏显示屏,提供多种语言支持、定制配方和易于维护。LPO 2200还包括符合人体工程学的设计,具有可变的高度和可调节的倾斜度以及易于操作的辅助功能。ASYST LPO 2200是大型半导体生产线的理想选择,并获得CE、cUL和cCSA认证。它的模块化设计有助于简化集成和维护,同时提供完整的解决方桉,从而消除了对多个独立组件的需求。LPO 2200具有先进的特性、灵活性和用户友好的设计,是大批量生产的理想晶圆处理程序。