二手 ASYST LPO 2200 #293630337 待售

ASYST LPO 2200是一款用于半导体晶圆加工的晶圆处理器，旨在满足最先进的半导体制造工艺的严格要求。该晶片处理程序的设计旨在提高工艺流程和吞吐量，同时提供最大的设备灵活性。LPO 2200能够传输直径达十二英寸的晶片，最大载荷容量可达700公斤。该处理器配备了耐用的单元双锁结构，配有双高精度导轨和集成弹簧加载的晶圆操控臂，使其在操作上极为通用，因为它可以很容易地适应不同的晶圆尺寸和形状。ASYST LPO 2200具有集成的控制系统,可轻松控制晶圆处理臂,并提供从外部来源传送和接收数据的功能。该装置采用经过验证的伺服技术，具有高精度编码器反馈，以确保晶片处理臂相对于晶片表面精确对准。LPO 2200包括一台集成的晶片调平机，该机监视正在处理的晶片的角度，并保证加工后的晶片在设备水平上的均匀对齐。这种控制水平对于先进的过程（例如化学机械平面化）至关重要，因为它保证加工后的表面保持均匀且不倾斜。处理程序还配备了一个防热工具，防止晶圆过热，因为在加工阶段长时间暴露在高温下。热保护资产能够以毫秒为单位对晶圆温度的变化作出反应，以防止晶圆受到任何进一步的损害。最后，ASYST LPO 2200配备了先进的视觉模型，设计用于检测晶圆实际位置和晶圆所需位置之间的任何可能的差异。这样可以确保启动的进程与晶片表面正确对齐,并避免任何过程结果不合格的风险。总而言之，LPO 2200是一款用于半导体加工的高性能晶片处理程序，能够传输长达十二英寸直径的晶片，最大载荷容量可达700公斤。该单元配备了耐用的双锁结构和集成控制设备，而集成的热保护系统和视觉单元则保证了机器精度、质量和可靠性的最高水平。