二手 ASYST LPT 2200 #293729427 待售

ID: 293729427
优质的: 2013
Standard Mechanical Interface (SMIF) loader 2013 vintage.
ASYST LPT 2200是由ASYST Technologies设计开发的晶圆处理程序,以极佳的精度和速度处理半导体晶圆。这种自动化处理程序用途广泛,可以处理各种尺寸可达8英寸的晶片,从传统的硅片到先进且具有挑战性的材料,如蓝宝石或III -V。ASYST LPT2200的机器人臂可以编程为在加工过程中旋转、移动和精确定位晶片。为确保最高精度,该处理器配备了先进的运输设备,包括高速伺服电动机和精确线性导引系统。此外,与其他机器相比,LPT 2200处理单片和多片批次的能力可以显着提高吞吐量。此外,处理程序设计方便地与半导体加工工具以及载波、传输和盒式磁带集成。LPT2200配备先进的激光传感器系统,以0.0001英寸的精度监控晶片的温度、卡带位置和晶片位置。传感器允许更高效的处理过程,并通过精确控制所需的头部速度、对准和处理程序的居中,避免对晶片造成任何可能的损坏。此外,集成视觉单元在晶圆加载和卸载过程中,在定位、检查和对准不同类型的曲面时,允许增强灵活性。ASYST LPT 2200还提供了一系列安全功能,包括密封室、钥匙门和紧急停止按钮,有助于在执行具有挑战性的晶圆处理操作时确保安全的环境。由于优化的机器设计和可靠的软件,操作员能够轻松监控整个过程并控制执行参数、诊断和性能。这使得ASYST LPT2200一个理想的解决方桉,质量保证以及过程控制在广泛的半导体相关应用。
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