二手 ASYST LPT 2200 #9016891 待售
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已售出
ID: 9016891
晶圆大小: 8"
SMIF Loader, 8"
Asyst LPT-2200 bolt-on SMIF load-port
Part no. 9700-6232-01
Right-hand orientation
Vertical movement
2001 vintage.
ASYST LPT 2200是一个先进的自动化晶片处理程序,旨在提供对半导体过程控制至关重要的一致和可靠的材料处理和管理。这种装置可以容纳范围广泛的晶圆尺寸,从100毫米到200毫米,并且可以以高速、精确和高效的速度每分钟最多移动200个载波。ASYST LPT2200利用易于使用的图形用户界面提供晶圆跟踪和沉积过程的完全可见性和控制性,以及信息记录和报告。GUI还包括一个虚拟液晶屏,用于显示对设备状态和事件的实时监控,以及传输控制参数、程序设置和作业设置。此外,该设备还能够使用基于PC的监视/维护软件保存、加载和比较设备设置。LPT 2200采用坚固、符合人体工程学的设计,可提供低振动、低噪音和最小空气消耗。该处理程序的构造可实现模块化内部操作,从而便于自定义、扩展和集成到系统环境中。该设备还包括一些安全功能,例如可锁定的盖子、无损触摸屏和视觉监控。此外,LPT2200还具有改善工艺控制和产量的几个特点,包括精确到百万分之一英寸的2轴晶圆定位单元、可移动到200载波/分钟的高速计算机控制拨片机以及车载晶圆传输工具。该设备还配备了一个旋转木马配置库,以方便地保持处理区域的清洁度。ASYST LPT 2200每分钟可处理多达200个载波,是大批量生产环境的理想解决方桉。该设备还能够处理多种晶圆尺寸,并配备了多种功能,可实现可扩展性、灵活性和定制。此外,该装置可靠性高,效率高,能够提供可靠的操作和较低的维护成本。
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