二手 ASYST LPT 2200 #9111901 待售

ASYST LPT 2200是由ASYST Technologies, Inc开发的晶圆处理程序。它能够在-20至+150摄氏度的温度下处理多种晶圆类型，最大晶圆直径为200毫米。它由模块化的框架和先进的运动系统组成，以确保每次操作的准确性和可重复性。该系统的设计考虑到了精确度和可靠性,并结合了晶圆处理的行业最佳实践。ASYST LPT2200利用每个晶片的高精度力控制定位技术进行最精确的对准,适合在生产环境中运行。LPT 2200每个托盘最多可容纳60个晶圆，托盘尺寸对于不同的晶圆类型完全可编程。其载荷端口旨在优化晶片的装卸，包括一个内置的多区温度控制器，用于优化晶片定位。晶圆存在传感器也包括在内,允许自动托盘识别和对准。LPT2200提供具有可调参数的过程控制,并且可以进行编程以匹配特定的过程配方。该系统与标准操作系统兼容,具有JAM-on Control Software和Remote Device Manager兼容性。ASYST LPT 2200还包括安全互锁和错误识别技术。Safety Interlock确保正确处理和定位所有晶片,而Error Recognition（错误识别）功能将检测任何晶片未对齐或处理问题。ASYST LPT2200还纳入了一系列用于监视过程的关键性能指标,包括托盘使用计数、周期时间、运动精度和晶圆存在。这些KPI允许用户跟踪和维护精度和质量标准。总体而言，LPT 2200是一种可靠、高精度的晶圆处理程序，在操作中提供灵活性和可重复性。LPT2200具有先进的特性和过程控制功能,非常适合生产各种晶圆类型的高完整性和高容量产品。