二手 ASYST LPT 2200 #9111909 待售

ASYST LPT 2200是为半导体及相关行业设计的晶圆处理程序。该装置用于高速、高精度晶圆处理应用。ASYST LPT2200占地面积小,非常适合需要紧凑解决方桉的应用程序。LPT 2200是一个模块化的、高精度的晶圆处理程序，为适应具有极高精度的敏感基板而开发。LPT2200设计用于在往返目的地晶圆盒式磁带位置时积极保持基板对准。其错综复杂的设计使模具易于更改并根据特定的应用需求进行定制。ASYST LPT 2200能够处理多达205毫米晶片，一次最多4个晶片。ASYST LPT2200包括一个多轴单鸟笼机器人臂，可在三个方向上提供1微米的可重复性。机器人在处理晶片时提供937毫米/秒的最高速度；在盒式磁带之间行驶时的最高速度为1,500毫米/秒。LPT 2200的精密设计包括一个真空吸盘设备，用于晶圆管理和拾取和放置精度。外部歧管式压力调节器包括一个集成流量计，能够产生高达25 Hg的真空水平。该系统采用销卡盘和提升机构，能够快速激活晶圆，并给出一个可调的症结。LPT2200是需要小型晶片处理的实验室、中试工厂和生产线的理想选择。除了其先进的性能功能外,该设备还具有易于操作的用户友好图形用户界面,以及集成的诊断软件和可选的SCADA连接。综上所述，ASYST LPT 2200是高速、高精度晶圆处理解决方桉的理想选择。这台机器的设计可以容纳各种基材尺寸，并提供可重复的工艺结果。它需要最少的时间和精力进行设置和维护,并且可以轻松地与外部控制系统集成。