二手 ASYST LPT 2200 #9146576 待售

ASYST LPT 2200是一种传统的机器人晶圆处理程序，设计用于各种太阳能电池制造工艺。它具有高度精确和可靠的运动的多个轴，允许精确和复杂的晶圆操作和放置。该晶片处理程序为晶片检查、晶片分选和处理、晶片测试、晶片清洗等应用提供了广泛的灵活性和效率。ASYST LPT2200的主要部件包括晶圆穿梭机、Z和XY级，以及四轴机械臂。晶圆穿梭机是为晶圆精确可靠运输而设计的电动装置。它可以在积分点之间水平移动，真空卡盘提供与晶圆的抓地力和相互作用。Z级和XY级为线性型，具有平行运动，使得垂直轴和水平轴都能精确移动。四轴机械臂能够沿着四个轴（X1、X2、Y和Z）进行精确运动，以便执行各种任务。LPT 2200的控制设备是基于MCS运动系统。此运动控制单元包括一个特殊的伺服控制器、24V直流电源和多个I/O模块。伺服控制器负责晶圆处理程序组件的整体控制，使设备能够精确、平滑地运动。I/O模块为各种机器元件提供I/O控制，允许对晶圆处理过程进行灵活动态的控制。此外，LPT2200还配备了精确对准的视觉机器，以及用于更好地处理易碎晶片的集成夹具。还可以使用扩展套件进一步扩展晶圆处理功能。这款晶圆处理器结合了高性能、可靠性和灵活性，为各种太阳能电池制造工艺提供了高效的解决方桉。