二手 ASYST LPT 2200 #9217833 待售
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ASYST LPT 2200晶圆处理器是一种工业机器人,设计用于安全处理半导体生产线中的晶圆。它是公司LuckyPositionalTilt (LPT)系列晶圆处理机器人的一部分,非常适合大型晶圆处理应用。ASYST LPT2200具有双臂机构,可容纳和传输直径可达12个75毫米(200毫米)的圆形硅晶片或6个150毫米(200毫米)方形晶片。然后,机器人可以使用高级运动控制将晶片往返于各种工具、加工站和路径。其CCD传感器非常适合精确控制,其软件控制的倾斜功能使晶圆运输和运输问题的管理更加容易。LPT 2200有相对较大的运动范围,允许它在许多方向上传输晶圆。它的手臂几乎达到600mm(1.4米)。其先进的跟踪技术进一步提高了准确性和可重复性。该机器人设计安全,符合所有振动和噪音标准。它还具有全面的安全系统,包括过流、过压和过温保护。LPT2200包括一组易于编程和使用的编程工具。它提供了直观的用户界面来设置程序,选择和传输晶片,甚至程序多机器人操作。它也可以用各种机器人轨迹来编程,例如简单的线条、圆形路径和基于目标的运动。ASYST LPT 2200设计为24-7运行,维护程度低,使用寿命长。它经过了30,000小时或5年的运行测试,可以集成到新的和现有的产品线中。ASYST LPT2200具有多种晶圆处理功能和可靠的设计,非常适合大规模晶圆处理。
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