二手 ASYST LPT 2200 #9221773 待售

ASYST LPT 2200是一种全自动晶片处理程序，设计用于在半导体加工工具之间传输和操纵350 mm、300 mm和200 mm晶片。设备采用Galil运动控制器、两个谐波驱动器和高分辨率、无Pb的线性编码器构建。其占地面积小、设计优化，使其能够在洁净室环境中运行，同时提供复杂半导体应用所需的高吞吐量和精确度。ASYST LPT2200的主要功能有两个：载波传输和托架间对齐。四个加工湾端口中的任何两个都通过系统的X-Y轴和旋转级以亚微米精度定位,从而使晶片能够在检查和处理端口之间快速移动。线性转储单元还允许从托架到托架以及从弹匣端口进行晶圆交换,从而使机器能够为各种操作配置自身。该工具具有许多安全功能,旨在消除人为错误并保护微妙的晶片免受潜在的破坏性事件的影响。其中包括一个集成的视觉资产和碰撞检测传感器，防止在发生阻塞时移动。此外,LPT 2200能够执行多种错误诊断,并且可以集成到工厂范围的体系结构中以进行全面的监控。该模型还包括各种自动清洗过程，在需要时用清洁溶液和压缩氮排出和冲洗四个托架端口中的每一个。此外，还配备了去离子水再循环设备，确保了系统的长期可靠性，减少了维护和保养所需的人工清洗次数。最后,LPT2200采用耐用、符合人体工程学设计的框架,安装在PPC机箱中,适合在各种工厂配置和工作环境中使用。它还包含了多种高品质的电动机、放大器和电子设备，设计用于最大限度地减少噪音和热量积累。这加上其直观、用户友好的控制软件，使得ASYST LPT 2200成为各种半导体处理应用的理想选择。