二手 ASYST LPT 2200 #9275212 待售

ASYST LPT 2200是在HVM（高批量制造）和研发实验室中为精密晶圆厂自动化而设计的晶圆处理程序。它是为200 mm或≤ 150 mm晶片（或≤50mm平方）配置的紧凑、紧凑的晶片处理程序,提供精确、可重复的基板运动。它具有独特的悬架设计，提供可靠的运动响应，同时减少振动和机械冲击。ASYST LPT2200有三个主要部分：主框架、线性定位表和晶片级。主框架支持LPT并为其提供结构完整性,确保在具有挑战性的生产方桉中精确且可重复运行。晶片级由多轴级组成,能够快速准确地处理晶片。LPT由四个主要部分组成：伺服驱动电动机、一组以高速、精确的速度移动舞台的直线电动导轨、一个提供额外稳定性的滚筒台，以及一个减少振动和机械冲击的弯曲。LPT是设备的关键部件，其设计经过优化，确保了可靠的运动响应，同时最大限度地减少了振动和机械冲击。为了进一步提高其准确性和性能，LPT采用高分辨率编码器驱动。这样可以精确控制位置和速度,从而使系统能够满足严格的吞吐量要求。LPT还配备了专用运动控制器、步进电机伺服、编码器支持等高级功能。这些功能以及强大的软件和硬件的使用,确保了高效、平稳的运行。LPT 2200晶圆处理程序还支持一系列传感器,用于监视设备的位置和速度,从而进一步优化其性能。总之，LPT2200是一台可靠、先进的晶圆处理机，非常适合精密晶圆厂自动化。凭借其独特的悬挂设计、先进的特性和传感器，它具有很高的精确度和可重复性，使其能够满足严格的吞吐量要求。它紧凑、高效，能够容纳各种基材尺寸，最大限度的多功能性。