二手 ASYST LPT 2200 #9298601 待售

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ASYST LPT 2200
已售出
ID: 9298601
SMIF Loaders.
ASYST LPT 2200是设计用于半导体工业的晶圆处理程序。它是一种自动晶圆处理程序,用于半导体晶圆的传输和处理。ASYST LPT2200有一个可容纳不同类型晶圆尺寸的工艺室,从而能够高效可靠地处理各种晶圆。LPT 2200是一个集成了几个特定组件的晶圆处理程序。主腔室装有一个装载口,用于从腔室装卸晶片。载荷端口由晶圆传输机构组成,用于方便晶圆载荷和卸载。这是通过机械臂的移动来实现的,该机械臂穿过腔室顶部并充当晶圆的载体。然后将晶片转移到水平和垂直移动的线性滑轨上,从而可以精确定位晶片。晶圆座组件和位于腔室中心的检测器是LPT2200的其他重要部件。当检测器用于跟踪晶片的运动时,固定器组件保持并旋转晶片,确保晶片正确定位以进行测试。腔室还配备了集成定位臂,用于将晶片定位在晶片支架上。定位臂由一个线性滑轨组成,用于沿x、y和z轴移动晶圆。这样可以确保晶片与测试位置的精确对齐。ASYST LPT 2200还包括专用的温度控制和冷却器系统,这有助于保持室内环境。这有助于确保晶片处于最佳的测试和处理条件。最后,ASYST LPT2200具有多项安全功能,可确保晶片的安全处理。这些功能包括门联锁、检修控制和紧急关闭系统。这些功能旨在确保晶片在腔室中处理时安全。总体而言,LPT 2200晶圆处理程序是一种精确、自动化和可靠的晶圆处理程序,设计用于半导体行业。其集成的技术和安全特性使其成为任何需要精确可靠处理晶片的环境的理想选择。
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