二手 ASYST LPT 2200 #9384482 待售

ASYST LPT 2200是一种高度可靠的晶片处理程序,设计用于在洁净室环境中传输和精确定位200 mm和300 mm半导体晶片。该装置由两个主要部件组成；晶片传输接口柜（控制晶片在晶片托盘上的拾取和置置）和晶片传输子系统（装置驱动晶片传输阶段的机构）,以及温度、湿度和粒子监测器。ASYST LPT2200采用电动步进电机、皮带驱动、可编程微型级以及三轴闭环操纵杆控制系统来精确定位器件内的晶片。该设备还配备了可编程定位器，灵敏度从1.26um到5um不等，可重复性为+/-2.5um，导致在设备使用时晶片定位非常精确。LPT 2200被设计为能够传输托盘尺寸从4"到9"的晶片，即200 mm和300 mm晶片，一次最多可容纳6个晶片。它还设计用于两种晶片到晶片的配置,这样可以轻松地将晶片从托盘传输到托盘,而无需任何手动干预。该装置还包含一个电动气动隔离阀，作为不同工艺设备之间的空气屏蔽。这种空气屏蔽装置提供一个清洁和受控的环境，使设备能够操作，从而有助于防止污染积聚。此外，该装置经过专门设计，可在41°C的最高温度和20-60%的湿度下运行。这意味着它适合在各种洁净室环境中使用，甚至可以在10级和100级洁净室等危险区域使用。总之，LPT2200是一个高度可靠和精确的晶圆处理程序，非常适合在洁净室和其他高精度环境和应用中使用。利用其三轴控制系统、温度、湿度和颗粒监测，以及皮带驱动、可编程微级和电气动隔离阀，设计用于运输和精确定位半导体晶片，提供卓越的性能。