二手 ASYST LPT/LPI 2200 #9126384 待售
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ID: 9126384
ASYST LPT/LPI 2200晶圆处理器是为高性能半导体制造而设计的先进晶圆处理设备。它是一个闭环系统,在整个装卸过程中保持精确的位置和温度控制。该单元由一个主控制器、一个晶圆处理程序、一个晶圆升降机和一个电动进纸器组成。晶片处理器是一种两级机器,利用真空晶片提升和磁性处理在各级之间安全移动晶片。主控制器由集成的计算机、键盘和显示器组成,允许操作员对工具的所有组件进行编程和控制。晶圆升降机是一种电动资产,在处理程序的壁之间传输晶圆。进纸器负责以适当的时间和速度向模型提供晶片,同时也为晶片在传输过程中提供适当的热环境。晶圆处理程序的设计可适应一系列晶圆尺寸。它采用静态晶片夹紧设计,确保与每个晶片的光滑和安全接触。该设备能够处理高达250毫米尺寸的晶片,并具有不同的抓地力选项,以适应不同的晶片尺寸。它还提供了可调的压力,以进一步确保晶片夹紧和防止损坏.ASYST LPT/LPI 2200晶圆处理程序设计为提供精确的可重复性和可重复性精度,非常适合高吞吐量应用。它具有快速的沉降时间,可以编程为每小时运行1000个晶圆。它的高级算法和基于传感器的操作提供了对过程的所有变量的精确控制,从压力到温度。此外,系统还提供实时监视选项,并且可以与工厂的中央控制系统联网。ASYST LPT/LPI 2200晶圆处理器设计用于高速半导体制造应用中提供可靠、准确的晶圆处理。其集成的晶圆处理单元在整个装卸过程中提供精确、可重复的位置和温度控制。其可靠的晶片夹紧设计确保了与每个晶片的安全接触,同时可调节的压力选项可以防止设备损坏。它的快速结算时间、高级算法和实时监控选项提供了对过程的最佳控制。
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