二手 ASYST LPX 2200 #9220762 待售
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ASYST LPX 2200是用于半导体、太阳能和LED行业自动化处理应用的晶圆处理器。它能够装载、运输和卸载单个200毫米(8英寸)和300毫米(12英寸)晶片,最大模具尺寸为16mm(0.64英寸)。ASYST LPX-2200设计为既灵活又可靠的解决方桉,可轻松集成到现有流程中。晶圆处理程序由四个主要组件组成:基本单元、A/C驱动器、用户界面和传输子系统。基地单元容纳LPX 2200的主要部件,并容纳电源、驱动电路、印刷电路板和机械框架。A/C驱动器有助于控制传输子系统的运动,该子系统在整个机器中移动晶片。用户界面为操作员提供了访问设备参数和命令的权限。这包括本地触摸屏、远程用户界面PC和以太网/串行通信选项。传输子系统负责加载、卸载和传输晶片。它使用真空带系统来移动晶片,并使用坚固的传送带机构,使晶片能够在整个机器中快速准确地移动。LPX-2200是为了满足严格的安全和可靠性标准而建造的。该单元采用刚性机械框架,以及动静控制系统,保证精确定位和可重复性。此外,该机器还包括一个环境控制工具,有助于降低颗粒污染的风险。在性能方面,ASYST LPX 2200能够达到高达每小时1930晶圆的最高处理速度。该资产旨在与现有工具集轻松集成,并提供开放通信协议和API,以实现自动化。这款晶圆处理程序还包括多个晶圆功能、晶圆对准控制、边缘对准和智能刀具加载等多个高级功能。ASYST LPX-2200是一款高效、可靠、灵活的晶圆处理器,旨在满足半导体、太阳能和LED行业的需求。它坚固的结构和先进的特性使其成为自动化处理应用程序的理想选择。
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