二手 ASYST / PST 100 #27562 待售
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ID: 27562
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Wafer metrology sorters, 8"
(2) ASYST SMIF Indexers
Open cassette plate
Equip robot
Robot controller
Aligner / Controller
Upgraded end-effector
PC Controller
FT-LCD Display unit
Keyboard
Mouse / Trackball
1996 vintage.
ASYST/PST 100晶圆处理器是一种高速晶圆处理设备,旨在在自动化半导体制造环境中将晶圆从一个工艺点高效移动到另一个工艺点。该系统由工业级机动平台、负载端口、工具框架和电气控制器组成。机动平台能够360度旋转，允许进入单元的所有轴。在平台上，负载端口连接到刀具框架，为处理晶片提供了一个重度屏蔽的工作空间。电气控制器便于电动平台、负载端口和任何其他外围设备之间的自动通信。机动化平台使用高效的齿轮传动来方便地将晶片从一个位置移动到另一个位置，而负载端口提供了一个高度屏蔽的环境，以防止污染和/或电气干扰。该平台的可调速度为0-200毫米/秒,以满足所有传输需求。例如,高速传输可以在存在高速处理步骤时进行,而较慢的速度可以在需要精细处理时进行选择。可调速度特性是PST 100的关键要素，允许用户根据自己的流程定制机器。ASYST的刀架PST100由一对锁紧夹具固定在平台上,并包含用于各种终端效应器设备的标准接口。框架可调且易于配置,允许多种位置和设备类型。它还包括内置的安全功能,确保晶片始终安全处理。此外,PST100还包括一个电气控制器,它与电动平台、负载端口和任何其他外围设备集成在一起,以方便自动通信。ASYST 100是高通量晶圆处理的完美解决方桉。它具有高效的速度和可调的特点，能够轻松地处理任何生产线。它能够根据各种工艺需求进行定制,因此与现有的生产线系统高度兼容。事实证明,该工具在使用多个晶片时是可靠的,并且可以通过消除手动处理显着降低成本。PST PST100还利用先进的安全功能,使其成为高效、安全的晶片处理的理想解决方桉。
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