二手 ASYST / PST SPARTAN #293652724 待售

ASYST/PST SPARTAN是设计用于半导体制造操作的晶圆处理程序。它配备了一系列自动化功能，用于晶片的装卸、清洁、对准甚至切割。该设备可用于手动、半自动和全自动模式。在手动模式下,处理程序托架臂可以移动到其工作区内的任何位置。晶圆托架锁定在支撑板中，设备会自动检测晶圆并将其相对于装配表面定向。其设计支持大幅面（300 mm）、小幅面（50 mm）和陶瓷（Ceramic materials）晶圆。系统使用特殊的高速装载机和卸载机一次最多可装卸三个晶片。装载机和卸载机可以自动化以优化吞吐量,同时保持晶圆方向和间距。处理程序还设有晶片清洁站，使用超声波和化学清洗工艺在处理前清除晶片表面污染物。采用碳氢化合物真空棒去除晶片表面的颗粒.然后将晶片通过氮素等离子体清洁器，进一步净化表面，以获得最佳处理效果。其他可用的操作包括激光图像识别,用于精确对准处理程序中的晶片,刀片切割机,将切口切成标准形状和定制形状,以及压力凸轮,以便对晶片施加压力。PST SPARTAN晶片处理程序设计具有高度可靠和坚固的设计,以确保可靠的运行。它能够在其支撑板上容纳多达150个晶圆。它还包括一个4步安全锁单元，以限制可能的晶圆处理错误。晶圆处理程序还包括要打印或上载到计算机以进行跟踪和分析的报告和作业文件。综上所述，ASYST SPARTAN是为高吞吐量生产作业而设计的先进晶圆处理程序。它配备了一系列自动化功能，用于晶片的装卸、清洁、对准甚至切割。该设备还配置了4-Step Safety Lock机器，包括晶圆清洁站、激光图像识别工具、刀片切割机和压力凸轮。该设备能够支持大幅面（300mm）、小幅面（50mm）和陶瓷（Ceramic materials）晶片,并在要求最苛刻的半导体制造环境中采用可靠的安全特性。