二手 ASYST / PST SPARTAN #293652726 待售

ASYST/PST SPARTAN是一种晶圆处理程序,旨在支持需要高精度和可靠性的应用程序。PST SPARTAN有两种变体可供选择，分别是机器人（电动机驱动的航天飞机）和处理器（处理室、电源、控件和传感器）。该产品范围适用于多种工艺和温度，范围从低（<100C）到高（>400C），具有多步晶片装卸、晶片分选、晶片背面清洁等多种功能。ASYST SPARTAN晶圆处理程序设计简洁高效。它具有固定处理程序底座和灵活的模块化设计,易于升级和安装。模块化硬件设计允许结构完整性和长期维护程序，为晶圆处理和处理提供了可靠、稳定的平台。此外,它的控制体系结构还提供了运动、过程和传感器子系统的强大集成,使其成为在此过程中需要高精度和可重复性的应用程序的合适解决方桉。SPARTAN晶片处理程序具有广泛的基材和尺寸,包括300 mm和200 mm晶片以及各种特种基材。它支持多种模具处理操作，如模具放置、拾取和分类。这是通过使用真空设备和采用晶圆旅行旋转木马平台实现的。该系统采用闭环控制装置，对晶圆在航天飞机中的位置进行监控，并以高精度反馈到处理器基座，从而提供高精度和可靠性。提供先进的安全功能,帮助将人员和设备受到伤害的风险降至最低。这些安全特性包括限位开关、电子停止按钮和三维位置安全机。ASYST/PST SPARTAN晶圆处理程序具有广泛的应用,并保证提供完整的晶圆处理支持。它的特点使得可以处理各种基板、尺寸和温度，以及一个稳定的晶圆传输工具，具有可重复的精度和可靠性。它也是简单的使用和设置，使得它成为一个很好的选择，为客户寻找高质量，经济高效的晶圆处理系统。