二手 ASYST / PST SPARTAN #293659688 待售

ASYST/PST SPARTAN是一种晶圆处理程序,专为各种晶圆处理应用程序而设计。设备可以处理直径在4到8英寸之间的晶片，并且能够以高达25um/秒的速度处理和处理多达1000个晶片。PST SPARTAN使用"桥"系统，将晶片连接在两组操纵臂之间，这些臂提供精确、可重复的运动以精确定位。操作臂由气瓶驱动，可提供快速、位置重复性和高效率的操作。ASYST SPARTAN安装了多个安全功能,以保护晶片免受损坏。气瓶不得超过最大运动范围,以防止手臂与零件或环境接触。此外，该装置可以通过在接触前停止手臂的运动来检测潜在的碰撞。机器还可以检测零件的损坏或变形，使其成为一个可靠和安全的晶圆处理环境。SPARTAN配有控制器和计算机接口,便于编程和设置。控制器能够同时控制多达8组武器的位置控制，并包含用于安全操作的内置SPC安全工具。计算机接口还配备了紧急情况下的安全关机能力。除桥梁资产外，ASYST/PST SPARTAN还装有一个带有3英寸变焦镜头的前向摄像头，用于直排视觉检查。该相机具有光强度和颜色补偿能力，可以在处理过程中对样品进行可靠的检查。相机还有一个LED光源，用于照明条件下没有严酷的工业照明。PST SPARTAN由于其自我诊断和检测到移动缓慢的部件而更容易维护，这可以提醒操作员任何可能的问题。如果模型出现故障,ASYST SPARTAN诊断设备的分层方法可确保轻松维护并延长产品寿命。SPARTAN由于其精确度和可靠性，在晶圆处理应用领域是最好的。其安全特性、计算机界面、前置摄像头和易于维护的范围，使其成为任何生产线的理想晶圆处理系统。