二手 ASYST / PST SPARTAN #293671321 待售

ASYST/PST SPARTAN是为自动化半导体、平板显示器和其他先进技术应用而设计的高性能多功能晶圆处理设备。它能够处理各种晶圆尺寸,并具有高级功能,可为高级高容量应用程序提供高速、精确和可重复性。PST SPARTAN由四个主要组件组成：主机模块、旋转木马模块、前端输送机和后端输送机。主机模块负责系统其他模块之间的自动化控制和通信，包括一个可编程逻辑控制器（PLC）。旋转木马模块容纳晶片的存储，一次最多可容纳50个晶片。前端输送机使用检测潜在干扰的传感器快速准确地移动晶片,而后端输送机设计为以每小时600晶片的速度卸载晶片。ASYST SPARTAN配备了许多高级功能,能够快速处理晶圆。集成视觉单元允许在前端输送机上进行实时晶圆操纵和引导，而定制的视觉检查可以并入机器中进行过程中的检查和分析。该工具还能够对视觉和功能表面特征进行直通式检查。此外,旋转木马模块的设计允许在此过程中并行加载和卸载视频。SPARTAN的运动部件由导线螺丝和精密球形螺丝组合驱动，以实现平滑运动和高精度。先进的冷却资产可使整个型号在目标温度范围内运行,以获得最佳性能、可靠性和使用寿命。ASYST/PST SPARTAN是一种高度灵活和可扩展的设备,一次最多可处理200个晶圆。它具有多种高级功能,使其成为大容量、自动化半导体、平板显示器和其他先进技术生产的绝佳选择。