二手 ASYST / PST SPARTAN #293766475 待售

ASYST/PST SPARTAN是用于自动化半导体传输和操作的晶圆处理程序。它是一种封闭式的设计，支持处理多个盒式磁带。PST SPARTAN提供了一系列输送机速度,包括990mm/s的最高速度和75mm/s的最低速度,允许广泛的应用。它还具有一系列传输配置，以满足各种流程的需求。ASYST SPARTAN最显着的特点是能够处理直径达200毫米的晶片。该单元采用集成联锁机构设计，以确保在改变水平的同时避免过度加速或减速。SPARTAN的洁净室安全设计还提供变性滤波器联锁、外部照明和减振功能，以确保最高水平的安全和性能。ASYST/PST SPARTAN除了具有出色的传输速度和能力外,还提供一系列自动化功能。该系统采用远程计算和网络设施命令（CNC）设计,用于手动和自动操作。它还能够执行机器视觉任务，以及机器控制、过程操作和其他功能，从而提高灵活性和自动化。PST SPARTAN还提供一系列通信协议,包括RS 232、RS485和以太网,提供安全可靠的数据传输。该系统采用一系列内部传感技术设计，包括运动编码器、温度传感器和压力传感器，并提供广泛的外部输入和输出。最后,ASYST SPARTAN采用优化的控制体系结构和用户友好的图形用户界面进行设计,便于操作、监控和调整。它提供标准配置和高级配置,后者提供增强的性能、安全性和可靠性,以及延长的保修范围。SPARTAN晶圆处理程序具有丰富的功能,可为许多应用程序提供卓越的自动化和吞吐量。