二手 ASYST / PST SPARTAN #293798452 待售

ASYST/PST SPARTAN是由Pacific Technical Products公司开发的晶圆处理程序，用于半导体晶圆的自动处理。PST SPARTAN是一种通用工具,非常适合用于快速生产和原型制作领域以及实验室应用。ASYST SPARTAN设计用于处理200 mm和300 mm晶圆,以及多个盒式磁带、无盒式磁带应用程序和FOUP。它具有一个顶端加载机器人,用于将晶圆与前开口统一吊舱（FOUP）存储箱之间的位置进行传输。它还有一个自动加载站，晶圆可以直接从其盒式磁带加载到机器人上。SPARTAN还有一个集成的机器人处理系统和模块化设计，可以适应各种应用。它包括五种独立的操作模式：单晶片、批量传输、存储/检索、扫描/排序和刀具到刀具传输。在单一晶片模式下,晶片一次处理一次,可以在处理工具或存储吊舱之间加载、预先对齐和移动。在批量传输模式下，机器人一次最多可以将五个晶片从一个地方转移到另一个地方。此模式非常适合快速处理晶片以实现快速吞吐量或原型设计。存储/检索模式允许晶片存储在存储插槽中并在需要时按需检索。扫描/排序模式允许以多个方向扫描晶片,并根据特定标准进行排序。刀具到刀具的传输模式使晶片能够在两个或多个不同的加工工具之间高效移动。ASYST/PST SPARTAN还提供了一个用户友好的图形用户界面（GUI）和基于Web的远程访问。它使用户能够轻松地监视机器人的进度并排除可能发生的任何问题。GUI还提供有关晶圆位置精度和智能晶圆处理统计信息的最新信息。总体而言，PST SPARTAN为半导体晶片的自动处理提供了可靠和用户友好的解决方桉。它采用模块化设计和多种操作模式，为快速生产、原型制作和实验室应用提供了高效、通用的工具。