二手 ASYST / PST SPARTAN #9231864 待售

ASYST/PST SPARTAN是为制造商自动化（M/A）要求而设计的最先进的晶圆处理程序。该设备专为极具针对性和受控的制造自动化而设计,具有很高的吞吐量和性能。PST SPARTAN具有四级处理系统,从可调节的线性手动装载机开始。此功能使用户能够准确地将晶片放置在线性级上。晶圆放置到舞台上后，转移到精密拨片和放置函数。此功能允许用户以精确的精度自动拾取、传输晶片并将其放置到指定的传输板上。一旦晶片在转印板上，ASYST SPARTAN的翻盖式车顶确保安全、安全地前往其下一站。翻盖屋顶还有助于保护设备免受环境污染。单元的第三阶段是製程週期。这个阶段使用异步PLC（可编程逻辑控制器）来设计处理周期，带有数据采集和晶圆定向的指令。循环由ProView Machine控制和监视,ProView Machine提供有关晶圆状态的信息,包括晶圆运动的速度和位置。最后阶段是基于托盘的卸载工具。这使用户能够自动将晶片拾取、传输和设置到指定的卸载托盘上。循环完成后,指示灯指示灯指示周期成功完成。SPARTAN能够处理各种晶圆类型和尺寸,具有受控的传输方向和精度。该资产通过翻盖、ProView Model、线性手动装载机和基于可调节托盘的卸载等创新功能,确保了清洁、无污染的环境。高精度和高性能使ASYST/PST SPARTAN成为快速、高效和精确自动化的理想工具。