二手 ASYST / PST SPARTAN #9247586 待售

ASYST / PST SPARTAN
ID: 9247586
EFEM Wafer sorter Includes: Datum structure Mini-environment Wafer engine End effector Load port Aligner Front electrical enclosure Bridge tool option ASYST EG-300B Edge grip buffered wafer aligner Accurate alignment: Wafer centering: +/- 0.05mm Notch angle: +/- 0.075 deg Wafer buffer function: Minimize robot idle time Integrated OCR cameras: Top and/or bottom read Vacuum 80 kPa.43 L/mins 10mm Flex tube comptabile with SMC one touch fitting Ethernet: RJ-45 Connection Electrical requirements: 120 VAC, 15 Amp circuit, 10 Amps full load.
ASYST/PST SPARTAN是为半导体工业设计的高性能晶圆处理器。它是一种自动化晶圆传输设备,设计用于精确移动、旋转和传输半导体晶圆,损伤最小,总处理时间短。PST SPARTAN晶片处理程序能够携带多达12个晶片,并以精确的精度将它们从一个加工站移动到另一个加工站。晶圆传输系统使用两个阶段,能够同时从任一级别拾取和移动晶圆。晶片的运动以无刷线性伺服技术为基础,提供高精度、可靠、无抽动和无抽动的定位。它还采用了一个编码器单元,以确保晶圆取向的X、Y和R轴上的精确和可重复运动。ASYST SPARTAN的设计实际上是免费维护的,并且在其使用寿命内非常可靠。这是很容易安装,有一个强大的扫描机,检测晶片气泡或边缘芯片,防止处理程序从拾取晶片。晶圆处理程序具有用于快速作业设置和灵活编程的软件,可以快速执行复杂的配方。SPARTAN晶片处理程序配备了防静电、防刮擦的防护罩,以保护晶片免受静电和刮擦。此外,外壳的设计目的是确保尘埃颗粒和来自周围环境的任何其他碎片不被吸引到晶圆表面,从而延长其寿命。它内置的容错工具可以识别、分析和解决出现的问题,从而确保最高级别的性能和无错误的操作。它还包括用户友好的控件和颜色编码的触摸屏,便于访问和操作。ASYST/PST SPARTAN晶圆处理程序旨在消除半导体工业中的人力劳动并提高生产率。它是晶圆运输和处理任务的可靠、可靠和经济高效的解决方桉。PST SPARTAN晶圆处理器具有高精度、降低的维护要求和直观的用户界面,是半导体行业中许多生产和实验室过程的完美解决方桉。
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