二手 ASYST / PST SPARTAN #9254166 待售

ASYST/PST SPARTAN是一款用于半导体制造工艺自动化的高性能晶圆处理器。它是设计用于半导体制造、测试和装配线的通用晶圆处理机器人，用于处理晶圆、骰子和其他组件。PST SPARTAN由一系列组件组成,包括主框架、晶片拾取/放置转塔、开放盒式接口（OCI）、开放管接口（OTI）、独立腔室接口（SACI）、臂接口（AIA）、臂驱动（AS-Sub设备（AGD） A、主框架由一个金属框架和一个集成的拾取/放置炮塔和一个5轴机器人手臂组成。晶圆拾取/放置转塔由三个腔室接口组成，一个OCI、一个OTI和一个SACI，用于处理各种晶圆几何形状和直径。5轴机器人手臂具有精确控制的X-Y-Z定位级，可穿越250mm/sec。除了独特的z摩擦驱动器和直观的运动控制外，机器人臂还能够以低于+/-25微米的重复精度执行高精度的拾取/放置动作。手臂接口（AIA）将机器人手臂连接到主框架，并提供移动机器人手臂所需的控制信号。手臂驱动器（ADG）是一种紧凑的电机微米驱动器，能够提供精确和可重复的运动控制。子组件（SA）用于接口和控制晶圆拾取和放置转塔。它由一系列电子板和组件组成，能够生产晶圆处理机器人。ASYST SPARTAN还包括一个软件套件，其中包括模式改进器、自动校准器、步进分析器和实时运动控制器等各种软件应用程序。基于Windows的系统允许操作员快速轻松地配置和控制晶圆处理系统，以及监控和评估单元性能。SPARTAN为处理半导体制造、测试和装配线中的晶圆和其他元件提供了可靠和灵活的解决方桉。ASYST/PST SPARTAN具有智能控制机器和精确运动能力,是任何半导体行业的理想选择。