二手 ASYST / PST SPARTAN #9296848 待售

ID: 9296848
EFEM Wafer sorter (3) Inputs / Outputs.
ASYST/PST SPARTAN是一种机器人晶片处理程序,设计用于一次运输和处理多达85个晶片。机器人由三个独立的部件组成:晶圆输送机、处理机和转移设备。输送机将晶片从输入位置移动到处理程序。处理程序拾取晶片并将其传输到传输系统,传输系统将其传输到输出位置。输出位置可以是LS220或AS8600控制器,也可以是EDA平台。PST SPARTAN处理程序使用虎钳式工程来固定晶片。虎钳式工程有可调节的手指,用来固定晶片在运输时。转运单位由四支转运武器组成。武器将晶片移动到处理器之间,确保晶片在运输过程中保持安全。ASYST SPARTAN可以支持直径最大为8英寸的晶片。处理程序也可以编程为运行定制的模具和晶圆测试程序。SPARTAN附有开放式架构计算机,允许用户进行各种编程更改,以适应其流程的需要。除硬件外,ASYST/PST SPARTAN还配备了直观的软件接口,使得编程处理程序相对简单。该软件包括一个常用的模具和程序库,以及一个用于定制模具和程序的模具编辑器。该软件还具有诊断图形和联机帮助机。PST SPARTAN非常可靠,具有自我诊断工具和自动恢复例程,以确保处理程序的平稳运行。ASYST SPARTAN具有3年保修,能耗低,效率更高。SPARTAN是晶圆高容量、高效运输和加工的绝佳选择。
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