二手 ASYST / PST SPARTAN #9386363 待售

ASYST/PST SPARTAN是一种晶圆处理程序,旨在帮助自动和手动晶圆处理应用程序。该设备配备了一系列机器人和其他组件，以方便过程。它可以用于晶圆拾取和放置、晶圆键合、晶圆传递、晶圆单化等过程。自动晶圆处理系统具有三种类型的机器人：Scara机器人、X-Y笛卡尔机器人和Delta机器人。这些都配备了先进的控制技术，可以处理数百个直径达200毫米的晶圆。Scara机器人能够一次携带多个晶片，而X-Y笛卡尔机器人能够进行微调，以确保晶片在处理过程中的准确定位。Delta机器人是一种多功能机器人，可以处理多种流程。该单元还包括一台配备3个CCD摄像机的视觉机器和一个探测物体的照明工具。这使资产能够识别基板上的图样和形状并识别各种晶圆。它也作为自动晶圆处理模型的骨干。视觉设备能够在移交给下游工艺之前评估晶片上的缺陷水平。除了机器人和视觉系统外，系统还配备了多种传感功能和传感器。这些包括红外和激光传感器，以及压力传感器。传感功能用于向操作员提供有关晶片相对于设备中机器人和其他组件的位置的反馈。这样做是为了确保处理晶片时的准确性和效率。此外，自动晶圆处理机还设有晶圆放置和处理装置。该单元包含一个可调节的基板夹具和一个线性微执行器来精确移动和保持晶圆。还有微型开关和其他基于电路的元件来检测信号和控制工具的操作。实际上，PST SPARTAN是一种完全自动化和可靠的晶圆处理资产。这种模式灵活，可以定制，以满足客户的具体需求。它旨在为晶圆传输和其他处理操作提供高精度和可靠的结果。设备配备了全面的安全功能，为自动晶圆处理提供了完整的解决方桉。