二手 ASYST R150 9701 4314-01 #143140 待售

ASYST R150 9701 4314-01晶圆处理程序是一种自动化组件,设计用于半导体制造机械中的传输、进给和处理晶圆。它具有旋转工作台系统，提供精确放置和去除基板和其他模具半导体晶片所需的运动。其直立框架支持一对直线导轨和四个伺服驱动的直线执行器，每角一个。这种布置为晶圆提供了可靠准确的双排角传递。转移晶片的角度可在90度内调节，分辨率为0.5度。R150通过直观的手持教学吊坠控制。教学挂件有一个用户界面，具有各种参数和数据访问工具。R150晶圆处理程序的功能包括晶圆对准、晶圆旋转和翻转以及晶圆调节。该系统通过运动和反馈相结合，实现了精细分辨率的精确定位。该R150还利用线性执行器反馈。所有线性执行器提供1微米分辨率的位置反馈数据。这种先进的反馈水平允许各种晶圆大小和形状的精确对齐。该R150可在温度在10°C至40°C、相对湿度在20%至80%的环境中操作。其不锈钢框架采用重型部件构造，适合在半导体生产线等广泛的粉尘和腐蚀性环境中耐用运行。R150晶片处理程序的总体设计确保了平稳的操作,并确保所有晶片都牢固地保持在适当的位置,从而防止由于移动或转移而造成的任何潜在损坏。因此，它是大体积半导体制造工艺的可靠解决方桉。