二手 ASYST SAS 01CS #9301743 待售

ASYST SAS 01CS是一种多平台晶圆处理设备，设计用于微型半导体制造的后端过程集成。该系统是为完全定制而构建的,提供了根据客户需求配置和重新配置产品的灵活性。SAS 01CS由三个核心组件组成：应用控制器、媒体盒和机器人。它基于公司的运动测序技术,使设备能够以更高的精度和生产率提供智能晶圆处理解决方桉。应用控制器是机器的核心，提供机器人活动的智能和控制。它支持多种编程语言，如机器人语言和阶梯逻辑。它具有许多内置功能，包括用于精度和过程可靠性的变速工具，以及用于优化机器人操作的高度灵活的调度资产。Media Box组件用于存储和传送盒式磁带和基板。它配有一个四向定位器，在拾取并放入晶圆口袋阵列之前，准确定位盒式磁带和基板。它可以支持Robofox和Cassette-less基板处理。ASYST SAS 01CS Robot是一种6轴机械臂，旨在执行精确的可重复运动。它具有高速、灵活的运动保证其精密球螺杆驱动模型。其运动控制由两轴加速度/减速控制辅助。机器人还配备了多个工具更换器，用于寻址各种晶圆尺寸和设计，以及各种设备检测器。SAS 01CS是一种高度可靠的晶圆处理程序,专为动态全天候处理环境而设计。它的高生产率、更高的精度、与各种半导体工艺的兼容性以及用户友好的设计使其成为半导体织物的绝佳选择。