二手 ASYST SBB 01CS #9301739 待售
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ASYST SBB 01CS是适用于不同半导体处理环境的综合性高效晶圆处理设备。它利用开放式体系结构和自动化操作来处理晶圆需求。该系统旨在为六个全长200毫米和四个局部长度150毫米晶圆提供精确和可靠的物料处理,同时便于与现有的机器人或机械系统集成。SBB 01CS利用双晶圆穿梭装置,高效、准确地处理和转移晶圆。这台机器允许晶片在上下两个主装载机之间轻松移动。它还利用精确的静电夹紧机构,确保晶片载流子在各个方向上的可靠和可再现的材料处理。该工具还包括一个交换站,在那里放置一个采摘的晶圆,然后将其转移到所需的工作站。资产还包括自动自我诊断模型,用于监控设备性能并检测可能发生的任何问题。此自诊断系统可诊断设备的多达25个关键参数,包括显示器、控制器和传感器。此外,该机器还包括温度监视器和气体净化监视器,可以保持和监测精确的晶圆温度、湿度和气体水平。ASYST SBB 01CS还具有用户友好的图形用户界面(GUI),可轻松操作该工具。GUI提供完整的资产控制,允许用户监视、控制和自定义模型操作。它还包括提示功能,允许用户快速调整设备设置以优化其晶圆处理过程。最后,SBB 01CS还配备了一系列可选配件,使其成为高度通用和高效的系统。其中一些附件包括但不限于空气冷却系统、自动装载机、照明系统和视觉系统。ASYST SBB 01CS是用于半导体加工环境的高效晶圆处理单元。它的开放式体系结构和自动化操作允许轻松集成到现有的机器人或机械系统中。此外,其高级功能(如自诊断机、温度监视器、气体清除监视器和图形用户界面)使其成为高度可定制的工具。此外,其各种附件为用户提供了其晶圆处理过程的无限可能性,确保其系统既精确又可靠,满足其所有处理需求。
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