二手 ASYST SFS 01CS #9301742 待售

ASYST SFS 01CS是一种先进的晶圆处理器，用于半导体工业的加工和生产设备。它旨在提供晶片在半导体芯片制造过程中的快速、准确的运动。SFS既可用于手动操作,也可用于自动操作,旨在支持装配、测试、包装和清洁等各种应用程序。SFS具有灵活的倾斜设备设计，允许更大的角度范围，使其能够处理不同大小和厚度的晶片。它还可以以最小的力和最小的能耗操作，以及具有防止晶圆损坏的低摩擦设计。该处理程序设计为与复杂的监控和安全系统（如互锁和ESD保护）集成在一起。SFS采用了一系列功能，以确保CCD视觉、双摄像头感应、直接驱动移动和内置控制器等最佳操作。它拥有一个150 x 150 mm的操控区域，最大可支撑8英寸晶圆，并能以高达30 cms/sec的速度移动它们。此外，它还配备了三维微视对准导航系统，确保在几秒钟内精确对准。此外，SFS有一个晶片装卸单元，可调节晶片托盘水平。这允许晶片加载速度达到高达15晶片/秒。集成的扫描仪和传感器可自动识别每个晶片，并通过工艺参数的自我调整优化了操作性能。SFS设计用于处理范围广泛的晶片，从2"到8"，从0.3mm到4mm。它有一个扭矩控制机器，使同步移动和防止晶圆损坏。晶片用真空密封方法在封闭式外壳内运输，尽量减少有害的颗粒污染。总之，SFS 01CS是一种先进的晶圆处理器，设计用于半导体芯片制造过程中的快速、精确和经济高效的制造。它具有CCD相机视觉、直接驱动运动、双摄像头感应、扭矩控制、工艺参数自调整等多种特点。SFS还配备了一个封闭式外壳，可防止颗粒污染，并有助于确保晶圆的精确处理。