二手 ASYST SMIF 300 WMS #162781 待售

ASYST SMIF 300 WMS（晶圆管理系统）是一种高精度、模块化且经济实惠的晶圆处理系统,旨在处理直径达300毫米的晶圆。它非常适合前端和后端晶圆处理应用在多个行业，包括半导体，数据存储，MEMS，和光伏。SMIF 300 WMS由一个主机箱、一个控制器和几个安装在机箱内的模块组成。主机箱包含一个兼容西门子的电源、一个配电板、一个可移动的底板以及几个用于附加模块的安装板。控制器包括触摸敏感输入设备，方便用户操作。ASYST SMIF 300 WMS的晶圆处理能力通过几个模块提供。晶圆传输模块（WTM）用于在晶圆磁盘的不同运行阶段之间精确移动晶圆磁盘。3-Axis自动定位（3AX）模块提供三维定位功能，而远程传感器工具（RST）模块支持使用条形码读取器和激光扫描仪。真空控制模块（VCM）提供压力和真空控制功能。SMIF 300 WMS设计具有高精度和可重复性,以确保可靠的数据和产品质量。它的模块化结构允许定制配置以满足特定的客户要求。此外,它的专有接口使与现有系统的集成变得简单明了。ASYST SMIF 300 WMS强大的设计,在恶劣的环境中运行可靠.它符合CE EMC、CE LVD和IEC 61000-4-2安全要求,并已通过UL、CE和C-Tik认证。该系统具有模块化结构和独立诊断功能的液晶屏，易于维护和故障排除。SMIF 300 WMS是一款最先进的晶圆处理程序,可提供卓越的灵活性和吞吐量,以满足许多行业的苛刻要求。ASYST SMIF 300 WMS具有高精度功能、模块化结构和专有接口,是需要精确可靠的晶圆处理的应用程序的绝佳选择。