二手 ASYST SMIF-300FL #121297 待售

ASYST SMIF-300FL晶片处理器是一种全自动、紧凑且高度可靠的设备,用于半导体工业生产集成电路。它旨在促进晶片在特殊工艺室和晶片负载端口之间的移动。ASYST SMIF 300FL配备6轴机械臂,其中包含一个封装臂、两个线性执行器、3个底板和一个3轴楔形工具卡盘。在X、Y和Z运动方向上,线性执行器在+/-.003mm的精度范围内提供精确的移动和控制。机械臂有效达到300毫米，最大载重量6公斤。3个底板提供了一个平缓而牢固的底面，以便在每个操作周期中轻松地传输和容纳多达6个晶片。3轴卡盘能够平滑地去除、运输和放置小而细腻的晶片和其他基材，而温度可以维持在20-40摄氏度之间。SMIF 300 FL还通过其远程配方控制、可扩展性和多个流程室连接选项提供了增强的流程灵活性。ASYST SMIF 300 FL除了具有强大的控制能力外,还包括提供无与伦比的操作简洁性的多功能集成解决方桉,以及全方位的安全功能和保护措施。该系统利用基于Windows的5级安全体系结构进行安全操作和可靠的过程控制。这一体系结构确保检测潜在的安全问题，并防止可能导致过程污染的任何操作或单元故障。此外,SMIF 300FL还具有直观的用户界面、功能强大但直观的可编程逻辑控制器、触摸屏功能以及针对各种流程（如清洁、PVD、CVD、光刻等）的定制流程集成包。控制器的开放式体系结构提供了灵活的部署、软件可扩展性和强大的生产能力。SMIF-300FL专为方便访问和维护而设计,因此无需安装任何升级或更换部件。所有这些功能都使晶圆处理机达到了新的高度，使其成为半导体工业的无与伦比的选择。总之，ASYST SMIF-300FL是半导体行业晶圆处理的可靠而有力的选择。ASYST SMIF凭借其6轴机械臂、3个底板、3轴卡盘、坚固的安全体系结构、直观的用户界面和过程集成软件包,300FL提供了高效且经济实惠的晶圆传输和过程解决方桉。