二手 ASYST SMIF-300FL #293651670 待售

ASYST SMIF-300FL是一种最先进的晶圆处理器,旨在满足半导体晶圆加工的高要求。它利用元件和跨功能子系统的灵活配置来自动化半导体晶片的传输、对准和加载过程。组件包括RCU（Robot Control Unit）、晶圆处理器和离线电梯设备。RCU是主要的控制系统，用来控制晶圆处理器的移动和循环晶圆通过传输、对准和加载过程。它由基于微处理器的PLC（可编程逻辑控制器）和通信模块组成。PLC用于控制晶圆处理程序的运动，如晶圆传输定位、对准和加载。通信模块用于在机器人控制单元和主机控制器之间传输数据，允许自动监控流程、机器状态和错误报告。晶圆处理程序是一种自动化机器,用于将晶圆传输、对齐和加载到刀具中。它配备了多种组件，包括各端盘、机器人臂、气动操控臂和传感器。各端盘用于抓握晶片并将其移动到位以进行加载和传输。然后使用机器人臂将晶片与目标表面对齐并将其加载到工具中。气动处理臂用于管理晶片处理器内的晶片,确保晶片传输的安全闭合和装载的安全对准。然后，传感器确保晶片与目标表面正确对准，并向机器人控制工具提供反馈，以持续监测过程。ASYST SMIF 300FL还具有用于工具集成的高级且易于安装的离线电梯资产。它包括一个可调节的电梯平台和真空适配器，允许无缝和高效集成的工具模型。电梯可方便编程，上下移动垂直装卸设备，将水平换乘系统移入和移出位置，提供最大灵活性和与多种工具集成的便捷方式。SMIF 300 FL晶片处理程序能够以高效、准确的方式传输、对准和加载半导体晶片。其广泛的元件，加上先进且易于安装的离线升降机单元，使得它可以方便地集成到几乎任何一台刀具机中，使其成为满足半导体晶圆加工复杂需求的理想选择。