二手 ASYST SMIF-300FL #293653971 待售

ASYST SMIF-300FL Wafer Handler是一种先进的晶圆处理设备,旨在显着提高晶圆处理在半导体制造过程中的效率和精度。它设计用于处理直径达200 mm的晶片,具有集成运动控制、高通量、低间隙和干扰设计以及明亮照明系统等多种功能。该装置是为最大吞吐量而设计的，包括一个高效的弯曲臂，一次最多可精确对准和移动三个晶片。ASYST SMIF 300FL晶圆处理程序配备了能够进行多轴控制的弯曲臂,从而在晶圆处理任务中实现了高度的对准精度和灵活性。手臂上装有一个晶圆升降器和一个真空吸盘，允许处理程序一次拾取和运输多达三个晶圆。该机还包括一个明亮的LED照明工具，以方便精确对准和尽量减少在处理精细晶片错误。SMIF 300 FL中的运动控制资产具有多种功能,旨在提供最大的吞吐量和准确性。处理程序可以使用许多可编程的速度,从而在处理晶片时实现最佳的灵活性。可以将臂设置为在定义的范围内旋转、在定义的范围内线性移动或沿着自动路径移动,从而在半导体处理中实现最大的灵活性和吞吐量。该模型还具有较低的间隙和干扰设计，允许晶片之间的干扰和污染最小。晶圆传输机构可以在传输目标的65 µm内停止，允许精确的晶圆处理。此外，处理程序有一个内置的主动阻尼设备，这有助于减少晶圆和处理程序的手臂之间的相互作用，尽量减少机械振动的风险和损坏细腻晶圆。SMIF-300FL Wafer Handler是一个先进且用途广泛的系统,它为半导体制造过程提供了高度的精确度、吞吐量和灵活性。它能够处理直径达200毫米的晶片，配有高精度的弯曲臂，并配有明亮的LED照明单元。它还具有减少污染的低间隙和干扰设计、减少晶圆振动的内置主动阻尼机以及具有可编程速度的最大吞吐量的运动控制工具。