二手 ASYST SMIF-300FL #293682366 待售

ASYST SMIF-300FL晶片处理器是一种专门为半导体光刻应用而设计的自动处理设备。它是一个完整、全自动的晶片处理解决方桉，一次最多可以处理32个晶片。它旨在满足半导体制造商对高吞吐量、精确度和可靠性的需求。该系统使用基于真空的拾取和放置模块来处理晶片。当到达适当的端点时,晶片停止并放置在SMIF盒式磁带中以进行进一步处理。它还集成了一个强大的单元，用于在卡带和晶圆水平上映射和跟踪晶圆。这台机器能够在处理过程中有效地跟踪每个晶片的位置。ASYST SMIF 300FL包括四个主要组件：控制器、SMIF处理程序、机器人和手动处理程序。控制器使用户能够控制工具的操作。SMIF处理程序负责将晶片从源盒式磁带移动到内部SMIF盒式磁带。机器人负责将晶片移动到适当的端点，并与手动处理程序一起进行手动加载和卸载操作。手动处理程序负责为用户提供对传输、加载和卸载操作的手动控制。资产整合了柔性晶圆处理选项，如单或双晶圆处理、卡带到卡带传输、晶圆到晶圆传输。它还支持包括SECS/GEM和WATC在内的标准协议。SMIF 300 FL一次最多可处理32个晶片，使其成为半导体光刻应用的高效和生产性工具。该型号还配备了内部温度和湿度监测设备，以及防止环境污染的先进安全系统。该单元还包括自动晶片历史记录记录和真空吸尘器等功能，以便于维护。ASYST SMIF 300 FL晶圆处理器是一种功能强大、可靠的半导体光刻应用机器。它提供高效的晶圆处理、精确的映射和跟踪功能,以及增强的安全功能。它还易于维护,并且设计用于高生产率和可靠性。