二手 ASYST SMIF-300FL #293813600 待售

ASYST SMIF-300FL是一种用于半导体器件制造的全自动晶圆处理设备.它设计用于2英寸、4英寸、6英寸和8英寸晶圆的集成电路（IC）处理。该系统能够在单个腔室中处理多达300个晶片,并且能够执行以下功能：加载、卸载、装卸溷合篮、吊舱交换、检查、擦洗和堆叠晶片。该单元在机器人臂上装有蓝色激光扫描仪，用于精确识别晶圆的方向。晶片取向至关重要，因为下一步的处理步骤必须按正确的顺序进行，否则整批晶片可能会毁坏。SMIF机器还包含一个自动扫描仪，该扫描仪在每个晶片加载到工艺室内时执行宏检查。该扫描仪允许将每个晶片快速准确地放置到篮子中,并将手动放置错误造成的缺陷降至最低。ASYST SMIF 300FL还利用了一种获得专利的无激光载体,从而消除了工具盖对齐的需要,并提高了工具的安全性。无激光载体可防止颗粒进入或离开工艺室，确保晶片在清洁的环境中处理。此外，无激光载波与机器人臂上的自动扫描仪配合使用，扫描每个晶圆并调整方向以进行适当处理。SMIF 300 FL还配备了高速晶圆传输资产，提供了从工艺室到机械臂的快速、精确的晶圆传输。该模型的晶片传输由集成真空设备控制，该设备旨在减少晶片在传输过程中的断裂。晶圆传输速度也是可调的，这允许最大的工艺效率和更快的循环时间。最后，该系统能够通过利用无接触的工具减少人与晶片接触的风险和污染的风险。这样就不需要清理晶片负载之间的模具,从而提高了吞吐量。该单元还配备了一组传感器，在晶片进入工艺室前检测任何有缺陷的晶片，进一步将污染风险降至最低。综上所述，SMIF-300FL是为制造半导体器件而设计的高速全自动晶圆处理机。它能够同时处理多达300个晶片，并提供快速、精确的晶片传输。它还利用无接触工具、机器人手臂上的自动扫描仪和集成真空工具来降低污染风险。这些特性使ASYST SMIF 300 FL成为当今半导体行业理想的晶圆处理器。