二手 ASYST SMIF-300FL #9008182 待售

ASYST SMIF-300FL是一种高性能晶片处理设备，设计用于半导体及其他相关行业的多个晶片的自动化装卸。自动处理系统有手动和自动两种版本,可提供双区域加载功能。手动装置使用单级机器人装载、运输和卸载多达300毫米（12英寸）晶圆。自动机器采用三种机器人机制，提供多种传输能力，允许多个晶片在同一区域内移动。该工具具有很高的吞吐量和精度，最大机器人速度为180毫米/秒，可重复性为1 μ米。坚固耐用的设计能够处理各种晶圆尺寸和厚度高达300毫米（12英寸）,重量可达180克。它还具有低污染设计,提供一致的清洁度和确保产品保护。这种低污染操作提供了在制造敏感装置时尽量减少粒子产生的能力。该资产的设计便于维护和灵活性。多轴设计允许机器人快速轻松的移动，旋转能力允许晶圆旋转。标准配置允许轻松访问所有内部组件,从而能够更换部件以减少维护和维修时间。调整驱动器参数的容量允许模型自动化以满足用户的特定要求。ASYST SMIF 300FL与大多数行业标准材料兼容，包括平板显示器（FPD）玻璃基板和刚性晶圆。它也符合各种机械标准，包括晶圆处理的JEDEC和IEC标准。该设备被设计成可集成到大多数生产设施中，并能够进行气态处理，包括蒸气相回流、溅射、抛光和离子注入。这种高性能的晶圆处理系统能够为多个晶圆的处理提供高吞吐量和精度。SMIF 300 FL具有强大的设计和低污染操作,非常适合半导体和电子行业的自动化生产过程。