二手 ASYST SMIF-300FL #9023346 待售

ASYST SMIF-300FL晶片处理程序是一种自动化晶片处理系统,旨在管理半导体制造过程中晶片的大容量装卸。ASYST SMIF 300FL具有用于快速晶圆交换的快速更改拾取模块、集成的晶圆擦洗功能以及用于晶圆取向确定的高级原位扫描功能。SMIF 300 FL能够以300 mm、200 mm或150 mm的配置处理和覆盖配置的晶片。它旨在以每秒300毫米的速度有效地移动厚度达1毫米、直径达40毫米的晶片。此外,ASYST SMIF 300 FL还具有自动确定晶片方向和检测损坏晶片的功能.SMIF-300FL具有高度模块化的设计,允许灵活的配置。它可以与现有的设备如炉子、扫描仪或计量工具配对。此外,系统的模块化方法还可以方便地进行升级,例如集成额外的晶圆盒带、FOUP和机器人。SMIF 300FL晶片处理程序适用于一系列晶片制造过程。例如，它可以容纳未经处理的晶片洗涤、成像和清洁，以及分选、epi-etching和金属前沉积过程。ASYST SMIF-300FL还考虑了安全性,并具有多种内置的安全保护功能。ASYST SMIF 300FL是一种先进可靠的晶圆处理系统,它可以消除复杂晶圆配置的处理和传输带来的困难和安全风险。它是高通量生产环境的理想选择,提供前所未有的安全性和效率。