二手 ASYST SMIF-300FL #9178156 待售

ID: 9178156
优质的: 2001
Load port P/N: 9700-6581-01 2001 vintage.
ASYST SMIF-300FL晶片处理程序是为集成电路(IC)后端工艺设计的高精度晶片处理设备。它由具有集成扫描仪的基于龙门的机器人和POD(便携式开放设备)存储系统组成。ASYST SMIF 300FL经过精确设计,可以处理2"至8-13/16"的晶片,并且可以快速、精确地移动和交换它们。其先进的设计包括增加零件以提高晶圆位置精度。它的机器人配备了真空提升装置,提供了改进的操控,从而在处理脆弱的细腻晶片的同时消除了接触。SMIF 300 FL专为灵活的生产过程而设计,允许将其合并到Backend、Probe和Burn-in过程中。为了最大限度地发挥其高级功能的潜力,ASYST SMIF 300 FL还配备了高级控制软件,能够管理多达108个晶圆。该软件管理晶片存储和运输的配置文件信息,以及生成操作机械臂的指令。它还提供了光学检查结果等最终用户会计数据的综合集成,以及每个晶片上操作的详细流程结果。SMIF-300FL还配备了自动清洗机,使机器人的晶片支架和搬运工具保持颗粒清洁。这种内置资产利用内置喷水和加压过滤过的水和氮来去除机器人表面上收集的颗粒,确保机器人处于高度精确晶圆交换的最佳状态。SMIF 300FL提供各种安全功能,以确保其操作员的安全。其中包括消除意外碰撞的双联锁、可以限制最大移动速度的机械结构,以及保护免受颗粒污染的二次安全区域,允许机器人安全安全运行。ASYST SMIF-300FL晶片处理程序非常适合那些寻求与各种IC后端进程兼容的高精度晶片处理解决方桉的用户。它旨在提供成本和性能的最佳配置,并保证满足当今晶圆处理日益增长的精度要求。
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