二手 ASYST SMIF-300FL #9255535 待售

ASYST SMIF-300FL是一款先进的晶圆处理器,专为半导体制造设施的高级用途而设计。该装置是为精确操作而设计的，其组件设计用于处理各种基材和材料。它是一种两级设备，可以安全、准确地将晶片送入和送出加工站。300 FL的主要部件是垂直升力，可以编程使晶片精确定位到所需的高度和运输水平。此升降机由伺服电动机驱动,并由独特的滚珠螺杆机构支撑,以确保平稳运行。另外，导轨设计为提供隔振，使晶片在运输过程中不受外部振动的影响。该300FL还配备了定制设计的平台安全防护装置，以保护晶片在运输途中不会意外接触。这种保护使用一系列传感器和接近开关来检测运动，并自动关闭任何涉及晶圆处理程序的操作，以防止损坏。ASYST SMIF 300FL还具有一些其他功能,可帮助确保安全高效的操作。例如,可以将轨道对准编程为与电动机驱动轴分离,以使晶片不受电动机运动或扭矩的影响。该系统还有一个集成真空和空气单元，利用正气压在不同载波之间或工具与晶片处理器之间高效处理晶片。SMIF 300 FL还具有一台先进的数据控制机,可在晶圆的整个处理时间内轻松监控其位置。这允许持续控制晶片的轨迹，以及随着时间的推移修改和调整其处理参数的能力。总体而言，SMIF-300FL是为半导体制造设施设计的先进、可靠的晶圆处理器。它具有精确的电动升降机、定制的安全防护装置和强大的数据控制工具。结合这些功能,可确保处理站之间晶片的准确、安全和高效处理。