二手 ASYST SPC 01CS #9301460 待售

ID: 9301460
优质的: 2015
System 2015 vintage.
ASYST SPC 01CS Wafer Handler是一种功能强大且可靠的晶片处理仪器,旨在最大限度地提高自动化和半自动化晶片处理应用的吞吐量和性能。SPC 01CS能够处理300 mm以下的各种晶圆,在低温和高温操作环境中同样有效。该装置采用耐用、低维护的不锈钢底盘,即使在最艰难的生产环境中也能提供最大的耐用性和耐腐蚀性。该设备采用可编程的双轴控制器和直观的图形用户界面,便于控制和监控系统的运动。ASYST SPC 01CS具有两个独立的模具冲突检测系统。第一个单元监视晶片的移动以检测与晶片分选工具的任何冲突。第二台机器跟踪晶片分选器对齐补丁,以检测晶片对齐器与分选器模具之间的差异。晶圆处理程序采用挤压铝制工作台设计,在晶圆和工作台表面之间提供最小的热传递。该表由电机驱动,确保晶片平稳平稳地运动,同时最大限度地减少滑动和其他传热源。此外,该表还具有热控制功能,允许在SPC 01CS上安全处理耐热部件。该装置还配备了真空监测工具,在真空喷嘴上使用一片聚酰亚胺薄膜检测真空密封的任何不规则性。这样可以确保晶片在传输过程中保持最佳状态。最后,晶圆处理程序配备了复杂的安全资产,可提供多种冗余级别。该型号具有紧急停止电路,以及大容量设备监控器,以确保所有安全功能正常运行。ASYST SPC 01CS是一款出色的晶圆处理程序,可在各种晶圆处理应用程序中实现最大的正常运行时间和性能。它耐用的结构和直观的控制使其成为最苛刻环境中可靠性和安全性的理想选择。
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