二手 ASYST UTMF 5000 #9055564 待售

ASYST UTMF 5000
ID: 9055564
Wafer handling robot.
ASYST UTMF 5000晶圆处理程序是一种通用、计算机控制的晶圆处理设备,开发用于各种行业。它旨在为自动晶片处理任务提供可靠、高性能的解决方桉,如加载、卸载和分选晶片。该系统配有晶圆箱、可调倾斜框架、单臂机器人、可调升力和集成控制单元。晶圆箱的设计可容纳多达五个标准200毫米晶圆,从而实现大容量吞吐量。可调倾斜框架设计用于在加载或处理过程中精确定位和定向晶片,而单臂机器人则提供精确且可重复的晶片运动。可调升力提供一定范围的升力角度,以确保在装卸周期中晶圆接触最大。集成控制机用户友好,专为实时过程控制而设计。它能够控制多达四个晶圆处理系统,并提供用户可编程界面、自动故障校正和以太网接口等高级功能。该工具还具有多种传感器,用于监测晶片加载平台的运动和位置,以及环境中的温度和湿度。UTMF 5000提供了完整的安全功能,并使用互锁资产防止机械臂意外撞击或损坏任何物体。它是由耐用材料制成的,设计可以持续使用多年。最后,该模型包括一系列运动诊断和性能记录器,以实现设备优化和故障排除。
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