二手 ASYST UTV-F2620W / CS-7100 #9239657 待售

ASYST UTV-F2620W / CS-7100
ID: 9239657
Vacuum transfer robot.
ASYST UTV-F2620W/ CS-7100是一种晶圆处理程序,旨在支持高级半导体器件的制造和测试。该装置采用先进的晶片加载技术,确保晶片在处理程序中的放置高度准确。其运动控制设备利用精密制造的直流无刷电动机和线性执行器驱动实现晶圆的平滑精确运动。以0.5 m/s的最高速度,UTV-F2620W/ CS-7100可以在处理程序和相邻测试系统之间快速移动晶片。ASYST UTV-F2620W/ CS-7100还配备了温度和湿度控制系统。此单元有助于防止操作过程中处理程序内部的温度和湿度变化。这对于控制晶片特性如电阻率和STI(浅沟隔离)的波动非常重要。晶片处理程序非常精确,能够将晶片定位到任何方向的0.01mm以内。这种精度对于确保各种测试中可重复的测试结果非常重要。UTV-F2620W/ CS-7100的高精度还可以实现快速的产品转换,而无需重新校准或重新编程处理程序。ASYST UTV-F2620W/ CS-7100晶片处理程序设计为易于使用和维护。它采用模块化设计,具有大量可互换组件,便于维修和维护。简化且用户友好的界面使处理程序更易于控制,允许快速的程序设置和多种产品更改。UTV-F2620W/ CS-7100用途广泛且耐用,足以处理各种晶圆类型和尺寸。处理程序可同时容纳平板和3D晶片,最大直径为150 mm。该装置还与各种工艺设备和测试系统兼容,因此可以轻松融入任何生产线。在安全方面,ASYST UTV-F2620W/ CS-7100的设计符合最高标准。安全功能包括安全开关,用于检测移动过程中可能出现的任何错位和超速,以及紧急情况下快速关闭机器的紧急停止按钮。处理程序的安全屏蔽符合SEMI安全标准。总体而言,UTV-F2620W/ CS-7100是一个高度精确和可靠的晶圆处理程序,旨在满足现代半导体行业的超精确需求。其先进的功能、多用途的设计、易用性和维护都结合在一起,使这款晶圆处理程序成为任何半导体相关应用的综合解决方桉。
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