二手 ASYST VersaPort 2200 STD #9043893 待售

ASYST VersaPort 2200 STD是一款晶圆处理程序，设计用于高精度机器人晶圆装卸。它能够在25毫米高的盒式磁带托架上处理从2英寸到8英寸不等的各种晶圆尺寸。此自动化平台使用户能够创建自定义工作流,以在进程单元中传输晶圆。其先进的机器人运动控制技术允许晶圆定心精度为+/-0.03毫米，速度高达0.35米/秒。它具有内置的"短运行"功能,使用户能够快速调整机器人运动路径,以补偿短晶圆或盒式磁带大小的错误。这保证了晶圆在操作过程中的成功传输。其可靠和可维护的设计确保了准确和可重复的机器人运动以及最小的停机时间。其所有部件都内置了安全联锁，以保护用户和设备免受潜在污染。可选的气体净化系统在装卸过程中提供保护性气体屏障，有助于保持洁净室环境。VersaPort 2200独特的设计使它能够在晶圆晶圆厂环境中以最小的占地面积运行。它包括两个电动线性机器人臂，一个晶圆车和一个支撑框架。两个机器人臂同时沿着x和y轴的线性导轨移动。可选的数据采集接口还提供了数据记录和可追踪性。为了保证高性能,VersaPort 2200专为快速轻松地安装而设计,同时降低了维护成本。它内置了为真空耦合提供气动能量的泵和晶片，用于可靠的晶片定心和处理。所有部件都有防尘和防水功能,以确保在恶劣环境中可靠运行。综上所述,VersaPort 2200 STD是一个高性能晶圆处理系统,具有先进的机器人运动控制技术和内置的安全功能。它与现有晶圆厂流程和设备的互操作性使产品上市时间更快,拥有成本更低。VersaPort 2200晶片定心精度高,操作可靠,使用寿命长,是晶片制造的理想选择。