二手 ASYST VersaPort 2200 VPO #9392803 待售

ASYST VersaPort 2200 VPO是一款高性能晶片处理程序,专为各种要求苛刻的应用而设计,包括处理直径不超过12英寸（300mm）的晶片。VersaPort 2200 VPO是一款全尺寸、机器人集成的晶圆传输设备，旨在为用户在广泛的操作中提供最大的灵活性和效率。ASYST VersaPort 2200 VPO结合了先进的运动控制技术和可靠的机器人技术以及强大的晶圆处理环境,为半导体晶圆制造过程提供了灵活高效的平台。VersaPort 2200 VPO能够在25毫米（1英寸）到300毫米（12英寸）的兼容直径范围内处理晶片。晶圆进纸器以均匀的高度放置在机器上，为晶圆传输提供了一致的环境。该系统具有多种功能，可实现快速可靠的晶片传输操作，包括使用真空传输卡盘安全抓握晶片。ASYST VersaPort 2200 VPO还采用了独特的机器人运动控制技术,允许在各种方向上平稳准确地移动。这使机器人能够将晶片精确定位在传输操作的最佳位置，并为用户提供其晶片一致的高性能处理。这个单元还设有一个机器人集成的自动化stocker，可以在安全的环境中容纳大容量的晶圆。这款stocker能够存储各种不同的晶片尺寸，确保机器操作的高度灵活性。凭借其先进的机器人运动控制功能,VersaPort 2200 VPO旨在为精密半导体工艺提供可靠且高性能的晶圆处理环境。该工具的一致性和多功能性使其成为一系列需要精密晶圆处理的半导体相关应用的理想解决方桉。