二手 ASYST VersaPort 2200 #293727855 待售

ASYST VersaPort 2200是一款高速晶圆处理器，设计用于300 mm和200 mm半导体制造工艺。它提供多种特性和功能,以实现高效可靠的晶圆处理。VersaPort 2200具有6轴SCARA（选择性合规性装配机器人臂）机器人臂,该臂已针对清洁室和过程自动化应用进行了优化。机器人手臂以高达2300毫米/秒的速度移动,可重复性为± 5微米,使其能够显着提高半导体制造过程的吞吐量。完全可编程的运动控制平台允许运动参数和测序之间的紧密协调。集成视觉设备可以准确定位和识别各种组件,包括晶圆、盒式磁带和载波。卡带/托架位置是在机器人手臂的内存中预先定义的,从而无需手动加载。ASYST VersaPort 2200通过简单的拖放配置提供直观的晶圆处理工作流,以提高操作员效率。该单位有一个内置的安全系统，监测单位的运作和状况，以发现危险情况并采取适当的回收措施。该设备的开放式体系结构可轻松集成各种半导体前端和后端设备。为了确保未来生产过程要求的兼容性,ASYST提供了多种软件选项来自定义VersaPort 2200。这包括新的GUI接口,它允许从任何标准计算机轻松使用。该机符合SEMI E94-9342标准的晶片处理和加工.此外,ASYST VersaPort 2200符合RoHS标准。VersaPort 2200是一种灵活可靠的半导体工艺自动化晶圆处理解决方桉。其强大的运动控制平台、集成视觉工具、直观的用户界面和开放式体系结构使流程自动化工程师能够在吞吐量方面获得显着改进。其用户友好的设计、集成的安全资产以及与SEMI E94-9342标准的兼容性，使其成为半导体晶圆处理操作的理想选择。