二手 ASYST VersaPort 2200 #293748864 待售

ASYST VersaPort 2200是为后端半导体工艺设计的全自动晶圆处理设备。它设计用于在直径从2英寸到6英寸（50mm-150mm）的各种晶圆尺寸上每小时处理多达200个晶圆。它具有直观的触摸屏界面,可引导用户完成设置、自动晶圆识别、传输和机器人移动。VersaPort 2200配备了两个集成机器人设备：真空机器人（VR）和移动板机器人（MBR）。真空机器人在传输晶片时保证了很高的重复性和准确性。VR包含用于连接到多个晶片源的大型IO端口,从而允许快速传输时间和最小的停机时间。移动板机器人（MBR）利用三重真空环境来确保晶圆的正确放置并实现高速晶圆传输。ASYST VersaPort 2200强大的晶圆处理技术确保了安全性和可靠性。晶圆传感和卡纸检测通过集成光帘提供。此外，它的精确负载平面器编程使系统能够识别和处理多种晶圆类型和大小。软件控制选项（如其晶圆控制中心和SmartRecipe Tool）提供了对其整个操作的精确控制。这个先进的晶圆处理单元还配备了一系列可选的附件,以方便用户使用。这些附件包括用于存储和处理多个晶圆的晶圆托盘机，以及用于在输送机工具上固定晶圆托盘的晶圆卡盘。VersaPort 2200还具有不断扩展的兼容组件和工具库,允许以最小的停机时间集成多个进程。ASYST VersaPort 2200是一种可靠、精确的晶圆处理资产,旨在满足后端流程的严格要求。其先进的自动化和控制能力确保了平稳的操作和可靠的晶圆传输。VersaPort 2200具有直观的用户界面、可调节的附件选项和不断扩展的兼容组件库,非常适合要求最苛刻的半导体生产环境。