二手 ASYST VersaPort 2200 #9099033 待售

ID: 9099033
Load port P/N: 9700-5384-12 Bolt interface mounting kit assembly included.
ASYST VersaPort 2200是专门为大容量自动化而设计的晶圆处理程序。这款晶圆处理程序具有独特的模块化设计,允许它用于多种配置,从单通到多通晶圆处理程序,使其用途极为广泛。VersaPort 2200能够处理各种尺寸,从200 mm圆形到150 mm正方形或矩形。其紧凑的设计使其易于集成到现有的自动化系统中,而其坚固可靠的结构使其即使是最苛刻的生产线环境也非常适合。ASYST VersaPort 2200由双核缓冲存储器和具有内置线性调节器的高精度24位ADC提供支持。这种组合提供了最高水平的晶片对晶片的精度,同时确保了可靠和可重复的操作。此外,其完全可编程的双轴操作通过时刻保持晶圆的恒定稳定的位置,简化晶圆处理,降低晶圆损坏的风险。VersaPort 2200还具有多项安全功能。它有一个内置的安全罩和各种可选的保护装置,可以定制以满足特定的应用要求。其中包括温度和电压的覆盖和输入,以及光学和/或射频干涉传感器。此外,其工业级机械臂提供了卓越的精度和稳定性,加上更广泛的运动范围,可用于批量生产和材料处理任务。ASYST VersaPort 2200还与各种其他系统集成,包括视觉系统、洁净室自动化系统和跟踪系统。其开放的通信接口使外部系统能够实时的外部反馈和控制,使其即使在大批量生产期间也能快速准确地做出响应。综上所述,VersaPort 2200是业界领先的晶圆处理程序,非常适合大容量自动化。它的模块化设计、高精度的双核缓冲区存储器和24位ADC、安全特性以及与其他系统的集成使其非常适合各种应用。
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