二手 ASYST VersaPort 2200 #9211544 待售

ASYST VersaPort 2200是一款全自动晶片处理程序，旨在方便半导体行业晶片的装卸和转移。其设计允许晶圆处理操作和吞吐量时间的最佳自动化和灵活性。VersaPort 2200最多可容纳200个晶圆,存储在最多20个盒式磁带中。它具有集成的摄像头和基于视觉的识别系统,能够准确识别和排序晶片,实现零件的可追踪性,并优化工具套件以实现大批量生产。相机还能够测量晶片进行精确处理，软件可以针对特定应用进行进一步定制。ASYST VersaPort 2200配备了两个独立的机械臂，每个臂都可以独立拾取和放置晶圆。晶圆旋转特性采用两个机械臂和一个直线表来保持晶圆的中心并控制其相对位置，从而确保精确的处理和处理。VersaPort还提供灵活和自动化的转移到各种目标工具，如晶圆测试、CVD、表面准备和主泵站。VersaPort 2200可以高达每分钟30晶圆的速度运行，专为大批量生产而设计。它的刚性和安全结构旨在最大限度地减少振动和减少循环时间,而其通用体系结构允许轻松集成到现有的自动化框架中,并减少模块化部件造成的停机时间。ASYST VersaPort 2200还提供了多种附加功能,例如集成的终端效应器、专用的拒绝箱和晶片加载选项,以及远程诊断功能,这些功能使其成为一个通用且高效的晶片处理程序。