二手 ASYST VersaPort 2200 #9211682 待售

ID: 9211682
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ASYST VersaPort 2200是一个多用途晶圆处理程序,专为关键和大容量应用程序而设计。它旨在为芯片生产和高容量或临界晶片负载/卸载要求提供高效可靠的解决方桉。VersaPort 2200是一个高度先进的系统,提供多功能操作,能够经济高效地生产具有高可重复性和准确性的复杂产品。该系统包括多个组件,如可互换晶片盒、接口臂、晶片传输臂和晶片定位器。可互换的晶圆盒设计可容纳200毫米、150毫米和100毫米晶圆盒,使其能够在各种应用中使用。弹匣本身是可以向前和向后移动的,以及上下移动的,以使它能够在靠近或远离载荷位置使用。接口臂提供了一种安全一致的方式来定位晶片以进行加载和卸载。它由具有双电机功能的单臂组成,能够在x和y轴上快速、精确地移动。由于其内置的铰链,它还能够轻柔地提起和放开晶片。晶圆传输臂负责从晶圆盒转移晶圆盒并将其装载到晶圆定位器上。它兼具正向和反向移动能力,因此可以方便地双向移动卡带。它还为晶片提供了卓越的保护,因为它旨在最大限度地减少晶片盒与机构其他部分接触的可能性。最后,晶片定位器设计用于在晶片通过所需过程时将其牢固地固定在适当的位置。它能够准确准确地定位晶片,并确保该过程是可重复和可靠的。总体而言,ASYST VersaPort 2200为晶圆的大容量处理提供了全面而完整的解决方桉。先进的多组件确保了系统的可靠性和准确性,而高效的设计为生产复杂而关键的产品提供了经济高效的方式。
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